平晶是以光波干涉法測量平面度、直線度、研合性以及平行度的計量器具,包括平面平晶、平行平晶和長平晶。平晶是平面度計量中的主要標準量具,在JJG 2019-89《平面度計量器具》國家計量檢定系統(tǒng)中具有重要的位置,是檢定、校準、測試和量值溯源的主要標準器具。
JJG 28-2019《平晶》檢定規(guī)程適用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和長平晶)的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。
檢定規(guī)程JJG 28經(jīng)過制定和修訂,歷次版本發(fā)布情況:
? JJG 28-1980《平面平晶》
? JJG 28-1991《平面平晶》
? JJG 28-2000《平晶》
? JJG 28-2019《平晶》
平晶平面度比較測量法有以下三種:
? 相移式等厚干涉測量法:在相移式激光等厚干涉儀上安裝,調(diào)整標準平晶與被測平晶,產(chǎn)生等厚干涉條紋,驅(qū)動標準平晶移動,從而產(chǎn)生多幅干涉圖像,對其進行采集、處理和分析,求出平晶工作面的平面度(PV和RMS測量值)。該測量方法首次在JJG 28-2019《平晶》檢定規(guī)程中引入。
? 十字線絕對測量法:可使用平面等厚干涉儀、平面等傾干涉儀和相移式激光等厚干涉儀進行測量,即三面互檢法和四面互檢法,經(jīng)過計算可得到平面平晶上兩個垂直截面(即:十字線)上的絕對平面度測量值。