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標準簡介|JJG 28-2019《平晶》國家計量檢定規(guī)程

發(fā)布時間:2022-09-14 來源:慧利探索公眾號 瀏覽:2384

平晶是以光波干涉法測量平面度、直線度、研合性以及平行度的計量器具,包括平面平晶、平行平晶和長平晶。平晶是平面度計量中的主要標準量具,在JJG 2019-89《平面度計量器具》國家計量檢定系統(tǒng)中具有重要的位置,是檢定、校準、測試和量值溯源的主要標準器具。

JJG 28-2019《平晶》檢定規(guī)程適用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和長平晶)的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

檢定規(guī)程JJG 28經(jīng)過制定和修訂,歷次版本發(fā)布情況:

JJG 28-1980《平面平晶》

JJG 28-1991《平面平晶》

JJG 28-2000《平晶》

JJG 28-2019《平晶》

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JJG 28-2019《平晶》檢定規(guī)程主要介紹了,“平晶”的范圍、引用文件、概述、計量性能要求、通用技術(shù)要求、計量器具控制及附錄。其中平晶工作面的平面度作為關(guān)鍵計量性能要求,采用比較測量法和絕對測量法。

平晶平面度比較測量法以下三種:

?  相移式等厚干涉測量法:在相移式激光等厚干涉儀上安裝,調(diào)整標準平晶與被測平晶,產(chǎn)生等厚干涉條紋,驅(qū)動標準平晶移動,從而產(chǎn)生多幅干涉圖像,對其進行采集、處理和分析,求出平晶工作面的平面度(PV和RMS測量值)。該測量方法首次在JJG 28-2019《平晶》檢定規(guī)程中引入。

?  平面等厚干涉測量法:用標準平晶與平面等厚干涉儀組成平面度標準裝置,通過觀測計算干涉條紋的彎曲量求出平面度。
?  平面等傾干涉測量法:用標準平晶與平面等傾干涉儀組成平面度標準裝置。平面度的測量應(yīng)在兩相互垂直的方向上進行。計算平面度時,當(dāng)所測二截面平面度出現(xiàn)的符號相同時,取其中絕對值最大的為平面度,符號相反時,則取兩者絕對值之和為平面度。
平晶平面度絕對測量法又稱多面互檢法,參加互檢的平晶其外形尺寸、材料應(yīng)一致,包括以下兩種方法:

?  十字線絕對測量法:可使用平面等厚干涉儀、平面等傾干涉儀和相移式激光等厚干涉儀進行測量,即三面互檢法和四面互檢法,經(jīng)過計算可得到平面平晶上兩個垂直截面(即:十字線)上的絕對平面度測量值。

?  全表面面形絕對測量法:全面形三面互檢法測量需使用相移式激光等厚干涉儀,經(jīng)過多次轉(zhuǎn)位測量,其測量數(shù)據(jù)經(jīng)過計算可得到平面平晶全面形的絕對平面度測量值。
綜上所述,平晶平面度測量是經(jīng)典的計量檢測應(yīng)用,其采用的物理光學(xué)干涉測量技術(shù)精度高,分辨率高,穩(wěn)定性好,在平面度校準、檢定測量和光學(xué)加工檢測領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

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